三菱電機自動化（中國）有限公司

高級銷售工程師 尚甲玉

                                                                    成熟方案，落地應(yīng)用

三菱電機一直以來十分重視半導(dǎo)體行業(yè)的發(fā)展與合作，憑借豐富的產(chǎn)品陣容與強大的本土開發(fā)能力，圍繞安全高效的通信以及空間利用率、生產(chǎn)效率與良品率提升等核心問題，以先進FA 技術(shù)為基礎(chǔ)不斷升級整體解決方案，為半導(dǎo)體制造設(shè)備及生產(chǎn)工廠提供技術(shù)支持。

在SEMICON China 2024展會(展臺號:T2館 T2148)上，三菱電機帶來了非常豐富的展示，不僅有相關(guān)的標(biāo)準(zhǔn)化硬件產(chǎn)品，同時也有定制化的軟硬件產(chǎn)品方案，例如定制中空軸電機、SECS通訊、OHT搬送方案、數(shù)字孿生、人工智能分析軟件等，均有非常成熟的解決方案并且己落地應(yīng)用于國內(nèi)外多家知名半導(dǎo)體用戶。

具體而言，首先在半導(dǎo)體SECS通訊方面，三菱電機設(shè)計了兩套方案，一-是通過專門開發(fā)的SECS/GEM硬件模塊(包含全面的SECS通訊標(biāo)準(zhǔn))，實現(xiàn)快速通訊，二是通過定制的軟件FB功能塊的方式，實現(xiàn)簡易的SECS通訊，客戶可以根據(jù)實際需求自由選擇，在省人工、成本和節(jié)省開發(fā)周期方面都有非常大的優(yōu)勢。

第二，硬件產(chǎn)品方面，由于半導(dǎo)體行業(yè)中單片清洗、化學(xué)研磨、電鍍設(shè)備等工藝上擁有大量中空軸馬達的需求，三菱電機依據(jù)用戶的設(shè)備規(guī)格及工藝要求進行深度定制，幫助客戶實現(xiàn)設(shè)備的性能完善和提升，長期以來與國內(nèi)重要的設(shè)備企業(yè)一直保持緊密合作與聯(lián)合開發(fā)。

其次，隨著國內(nèi)12寸半導(dǎo)體晶圓廠的投資布局與日俱增，對于自動化搬送的需求也相應(yīng)的增加，本次針對其中OHT設(shè)備即天車，三菱電機提出了FX5UC+MR-J5多軸一體式伺服的組合方案，幫助客戶實現(xiàn)設(shè)備的小型化、無線供電、省配線、省空間、高速通訊等多方面的要求，并已經(jīng)在國內(nèi)的相關(guān)設(shè)備廠商獲得了成功的應(yīng)用，在不斷加大與國內(nèi)相關(guān)廠商合作的同時，三菱電機也致力于將更多成熟的產(chǎn)品應(yīng)用推廣到更多的設(shè)備端，幫助客戶實現(xiàn)快速開發(fā)。

再次，在當(dāng)前碳中和、碳達峰等節(jié)能減排的大背景下,能源管理早已成為重要的戰(zhàn)略課題之一。三菱電機日本工廠較早時間便導(dǎo)入能源管理系統(tǒng)。，此外常熟工廠也已被國家工信部認(rèn)證為綠色工廠，在節(jié)能減排方面，三菱電機早已擁有十分豐富的經(jīng)驗和完整的能源管理方案。

除了擁有配套的硬件產(chǎn)品，如處理各種數(shù)據(jù)的服務(wù)器和測量儀器儀表等，還擁有配套數(shù)據(jù)分析軟件，能夠幫助用戶實現(xiàn)快速導(dǎo)入，全方位應(yīng)對客戶對于能源管理的需求:值得一提的是，針對部分既有項目，三菱電機也可以通過不改動本體架構(gòu)的前提下實現(xiàn)能源管理、預(yù)防保全等多樣化功能。

最后，針對目前熱度頗高的人工智能、數(shù)字孿生、邊緣計算“等前沿技術(shù)，三菱電機在此方面也早已布局，例如Mailab的數(shù)據(jù)分析診斷軟件，可以幫助用戶實現(xiàn)良品率的有9,通過數(shù)字孿生方式幫助客戶優(yōu)化產(chǎn)線布局、提高生產(chǎn)效提升:3D仿真軟件Gemini效率:;  TSN整合式網(wǎng)絡(luò)可以更加高速目自由地布局產(chǎn)線網(wǎng)絡(luò)，達到串聯(lián)制程設(shè)備與自動化設(shè)備聯(lián)動生產(chǎn)的作用。

                                                               聯(lián)合開發(fā)，共創(chuàng)輝煌

近年來，國內(nèi)人工智能、新能源汽車、先進封裝技術(shù)等智能化需求與日俱增，助推半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)快速發(fā)展，與此同時也帶來更多高難度與創(chuàng)新性需求。為應(yīng)對行業(yè)機遇與挑戰(zhàn)，三菱電機從以下三方面重點發(fā)力。

一是快速組建團隊，為了更快地響應(yīng)半導(dǎo)體行業(yè)用戶訴求，三菱電機組建了全球性的團隊，并將用戶需求快速傳遞到日本的母工廠，依托強大的總部研發(fā)團隊來配合客戶進行產(chǎn)品、方案探討與改進。

二是產(chǎn)品方面，三菱電機不僅儲備豐富的產(chǎn)品線，同時不斷嘗試將國外的先進技術(shù)、理念和產(chǎn)品引進到國內(nèi)，幫助用戶快速完成設(shè)備的開發(fā)。

三是為了更好地貼近國內(nèi)用戶，快速發(fā)現(xiàn)及響應(yīng)行業(yè)的開發(fā)定制需求，三菱電機相繼成立中國共創(chuàng)中心、新產(chǎn)品戰(zhàn)略研發(fā)推進室。例如，在為半導(dǎo)體定制化開發(fā)方面，針對半導(dǎo)體封測領(lǐng)域的芯片分選設(shè)備，客戶反饋因壓力控制不當(dāng)導(dǎo)致芯片破損從而影響良品率和生產(chǎn)節(jié)拍，三菱電機通過開發(fā)專用的伺服功能包插件，實現(xiàn)恒力保壓、碰撞檢知、飛拍等三大功能，目前這項專有技術(shù)已經(jīng)被芯片分選設(shè)備這一細分領(lǐng)域的龍頭企業(yè)廣泛應(yīng)用。

漫漫前路上，盡管困難與挑戰(zhàn)重重，作為半導(dǎo)體行業(yè)當(dāng)中重要的參與者，三菱電機有信心乘著行業(yè)發(fā)展的東風(fēng)，與客戶聯(lián)合開發(fā)并逐一突破，創(chuàng)造出更優(yōu)的價值，實現(xiàn)齊頭并進，共創(chuàng)輝煌。

，共創(chuàng)輝煌

聯(lián)合開發(fā)，共創(chuàng)

合開發(fā)，共創(chuàng)