半導(dǎo)體晶圓的精準(zhǔn)夾取與計(jì)數(shù) | 堡盟OHDM 16光電傳感器
2024/10/24 10:27:47 標(biāo)簽:中國(guó)傳動(dòng)網(wǎng)
AI給電子產(chǎn)品帶來(lái)新的變革,隨著產(chǎn)品的更新與迭代,半導(dǎo)體行業(yè)正在迎來(lái)又一次發(fā)展的契機(jī)。今天我們就給大家介紹一款在半導(dǎo)體行業(yè)的案例,堡盟OHDM 16光電傳感器在晶圓上下料機(jī)檢測(cè)定位中的應(yīng)用。
保護(hù)晶圓,提高效率
晶圓是制造芯片的基礎(chǔ)材料,晶圓的擺放與移動(dòng)也是半導(dǎo)體工藝開(kāi)始的最初工序。為了配合晶圓后期的芯片成品生產(chǎn)工藝,一般晶圓的上下料采用自動(dòng)化的方式,由機(jī)械手負(fù)責(zé)夾取。但晶圓十分脆弱,在移動(dòng)中很容易因輕微碰撞而產(chǎn)生損耗。
在實(shí)際的搬運(yùn)場(chǎng)景中,晶圓是一片一片存放在晶圓蛋糕盒中或者叫傳輸盒中,有序地被機(jī)械手臂抽取出來(lái)并分片傳送出去,所以必須對(duì)蛋糕盒加裝晶圓定位傳感器。定位傳感器必須有較高的精準(zhǔn)度,因?yàn)樗绊懼麄€(gè)系統(tǒng)動(dòng)作的流暢度。
堡盟OHDM 16光電傳感器在該應(yīng)用中很好的發(fā)揮了做用,它采用了漫反射和背景抑制性的原理,采用激光對(duì)晶圓的邊緣進(jìn)行定位。它的定位精準(zhǔn),晶圓的厚度非常薄,約為0.1~0.8mm,且邊緣為弧形,較為光亮,但這些條件都不會(huì)影響它的精準(zhǔn)定位。
創(chuàng)新產(chǎn)品,匯聚多重優(yōu)勢(shì)
堡盟OHDM 16光電傳感器的出色定位能力,與它的創(chuàng)新設(shè)計(jì)密不可分,正是這樣的優(yōu)勢(shì)與特點(diǎn)讓其成為晶圓檢測(cè)中的不二之選。
產(chǎn)品特點(diǎn):
1 它的晶圓定位版本可以用于晶圓邊緣的側(cè)面檢測(cè)。
2 大感應(yīng)范圍感應(yīng)距離Tw 123 … 143 mm||感應(yīng)距離不可調(diào)。
3 采用了堅(jiān)硬金屬外殼,因此也更加堅(jiān)固耐用。
4 它擁有更好的重復(fù)精度,重復(fù)精度在激光焦點(diǎn)處< 0,1 mm,夾取的反復(fù)動(dòng)作更加精確,可靠。
5 它采用了2級(jí)線激光對(duì)晶圓進(jìn)行測(cè)試,擁有很好的穩(wěn)定性,并且線光斑對(duì)于高反光表面性能較好,不存在反光無(wú)法測(cè)量等狀況。
6 它擁有很好的帶背景抑制功能,對(duì)位置控制較為穩(wěn)定。
精準(zhǔn)定位,推動(dòng)科技進(jìn)步
半導(dǎo)體是推動(dòng)科技進(jìn)步的糧食,是眾多科技產(chǎn)品的基礎(chǔ)部件。未來(lái)除了AI技術(shù)在推動(dòng)整個(gè)半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)的進(jìn)步,為行業(yè)帶來(lái)紅利之外,中國(guó)也在大力投資推動(dòng)本土半導(dǎo)體技術(shù)不斷前進(jìn)。
堡盟出色的傳感器產(chǎn)品,在這樣的環(huán)境中有著大量應(yīng)用的機(jī)會(huì),我們不斷為行業(yè)提供可靠的檢測(cè)與定位技術(shù)解決方案,為行業(yè)技術(shù)的進(jìn)步貢獻(xiàn)力量。
供稿:堡盟電子(上海)有限公司
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