奧松自主研發(fā)的集成式溫濕度傳感器-AHT10

在環(huán)境監(jiān)測行業(yè)，環(huán)境傳感器因其便攜、智能、多樣化等特性而受到大眾青睞。而在人工智能、智慧城市、物聯(lián)網(wǎng)的加持下，傳感器的應(yīng)用漸成系統(tǒng)化趨勢。根據(jù)應(yīng)用領(lǐng)域來區(qū)分行情，環(huán)境監(jiān)測站應(yīng)用的分析儀器傳感器，體積大、價格高，多數(shù)為外國進口，國內(nèi)品牌較少;工業(yè)領(lǐng)域應(yīng)用的環(huán)境監(jiān)測傳感器，市場占有率位居國內(nèi)前列，但還是有50%用的是國外產(chǎn)品。

造成以上的因素，主因還是受制于新材料、設(shè)備、生產(chǎn)工藝等產(chǎn)業(yè)化的基礎(chǔ)問題，國內(nèi)落后的傳感器研發(fā)和制造水平，與高速增長的需求形成了矛盾，只能大量依賴進口。國內(nèi)的企業(yè)沒有核心技術(shù)和統(tǒng)一標(biāo)準(zhǔn)，而用戶為了保持系統(tǒng)的一致性和穩(wěn)定性，不敢用國產(chǎn)貨，這也讓一些國產(chǎn)廠商愈發(fā)缺乏自信。以上，不僅僅是在環(huán)境監(jiān)測傳感器領(lǐng)域，這是我國整體傳感器產(chǎn)業(yè)的共同問題，技術(shù)細節(jié)、加工工藝、極端環(huán)境使用等方面與國外產(chǎn)品存在的差距，都是我們改進的方向。

唯有自主研發(fā)才能掌握市場主動權(quán)

首先，加大研發(fā)投入是不可避免，包含人力和資金等來優(yōu)化技術(shù)和工藝細節(jié)，實現(xiàn)整體實力提升，推進市場化應(yīng)用。其次，中國應(yīng)該出臺相關(guān)政策支持和鼓勵本土傳感器企業(yè)。最后，扶持上下游產(chǎn)業(yè)企業(yè)，進行產(chǎn)業(yè)集聚，走出一條產(chǎn)業(yè)化之路。

目前，我國的傳感器行業(yè)發(fā)展雖然相對滯后一些，但這些年我們也取得了很大的進步，政府《國家集成電路產(chǎn)業(yè)發(fā)展推進綱要》的推進，也在大力扶持傳感器行業(yè)的發(fā)展。創(chuàng)立于2003年9月的廣州奧松電子有限公司是國內(nèi)第一家濕度傳感器自主研發(fā)企業(yè)，是目前國內(nèi)領(lǐng)先的應(yīng)用MEMS半導(dǎo)體工藝技術(shù)生產(chǎn)傳感器及芯片的制造商。奧松也是廣東省MEMS領(lǐng)域唯一的集研發(fā)設(shè)計與生產(chǎn)銷售為一體的垂直整合制造(簡稱IDM)企業(yè)。

2016年底，奧松研發(fā)技術(shù)中心被市科創(chuàng)委評定為“廣州市企業(yè)研究開發(fā)機構(gòu)”。2018年底被省科技廳評定為“廣東省MEMS傳感器工程技術(shù)研究中心”。2018年底，公司自主立項的研發(fā)項目“絕對濕度傳感器”項目獲得“廣州開發(fā)區(qū)創(chuàng)業(yè)領(lǐng)軍人才”申報項目的專家評審成功立項，公司負責(zé)人被評為“廣州開發(fā)區(qū)創(chuàng)業(yè)領(lǐng)軍人才”。

創(chuàng)立伊始，奧松高瞻遠矚，堅持以“科技領(lǐng)先、顧客至上”的理念，長期與國內(nèi)外多家科研機構(gòu)、院所以及高分子材料學(xué)術(shù)界專家、教授合作，組建了一批具有博士研究生背景的業(yè)內(nèi)資深專家、研發(fā)工程師等研發(fā)團隊，內(nèi)部設(shè)有“技術(shù)中心”，目前各類研發(fā)科技人員已超50人。研發(fā)技術(shù)中心配有各類實驗室及各類生產(chǎn)線，配置先進的投影式光刻機、離子注入機、深硅刻蝕機、光學(xué)鍍膜機、LPCVD、PECVD、掃描電子顯微鏡、高精密濕度標(biāo)準(zhǔn)儀等設(shè)備。每年投入超過銷售收入20%以上的研發(fā)經(jīng)費，以確保各研發(fā)項目有效實施開發(fā)。目前研發(fā)實驗室面積超過10000平方米。近3年累計開發(fā)研發(fā)項目近20項，均已形成科技成果且成功進行成果轉(zhuǎn)化，同時已申請獲得各項發(fā)明、實用新型及軟件著作權(quán)等專利知識產(chǎn)權(quán)50余項。

奧松自主研發(fā)的傳感器芯片