PI采用磁懸浮技術

　　實現(xiàn)更高的高精度定位水平

　　皮米級分辨率

　　通過將磁性導向裝置和專用高精度驅(qū)動和傳感器技術相結合，實現(xiàn)高動態(tài)和低至皮米級的最高分辨率。

　　六自由度的主動控制

　　利用主動控制和多達6個自由度的導向特性定義功能，可執(zhí)行額外的校正任務，例如在操作期間進行沿Z向?qū)够蛘{(diào)整偏擺角度。

　　非接觸式操作

　　無摩擦導向原理，有效避免滾動元件、潤滑和氣流，從而確保在整個使用壽命內(nèi)實現(xiàn)最高精度，且可適用于無塵室環(huán)境。

　　市場和應用

　　在定位解決方案的開發(fā)中利用磁懸浮技術的特性，實現(xiàn)高精度、快速和無磨損的運動。這可以將要求苛刻的半導體制造或顯微鏡檢驗任務中的成像質(zhì)量提高到一個全新的精度水平。

　　"磁懸浮技術的獨特之處在于我們可以在機械系統(tǒng)內(nèi)使用無接觸軸承?！蔽覀兊牟⒙?lián)運動和磁驅(qū)動專家Christian Rudolf博士，深入探討了PI磁懸浮解決方案的 激動人心的開發(fā)過程。